X射線熒光光譜儀是一種較新型可以對(duì)多元素進(jìn)行快速同時(shí)測(cè)定的儀器。在X射線激發(fā)下，被測(cè)元素原子的內(nèi)層電子發(fā)生能級(jí)躍遷而發(fā)出次級(jí)X射線。波長和能量是從不同的角度來觀察描述X射線所采用的兩個(gè)物理量。

　　X射線熒光光譜儀主要特點(diǎn)是靈敏度高、選擇性好，靈敏度要比吸收光譜測(cè)量高2-3個(gè)數(shù)量級(jí)。分光光度法通常在10-7級(jí)，而熒光的靈敏度達(dá)10-9。

　　值得一提的是，X射線熒光光譜儀分析技術(shù)是一種非侵入式、能夠?qū)Σ煌牧现械幕瘜W(xué)組成實(shí)現(xiàn)快速分析的無損檢測(cè)技術(shù)。這些特性使得該分析技術(shù)在許多方面都更加實(shí)用且更具優(yōu)勢(shì)。其主要應(yīng)用范圍包括：金屬合金材料的可靠性鑒別（PMI）、危險(xiǎn)品檢測(cè)、材料驗(yàn)證以及司法科學(xué)等方面。

　　近年來，熒光光譜儀分析技術(shù)的進(jìn)步主要體現(xiàn)在儀器成本的降低和體積尺寸的減小，這些進(jìn)步均有效的擴(kuò)大了XRF的使用范圍。商業(yè)化熒光光譜儀（HHXRF）大約誕生于20年前，這是該技術(shù)發(fā)展歷的一個(gè)重要轉(zhuǎn)折點(diǎn)，因?yàn)镠HXRF的出現(xiàn)實(shí)現(xiàn)了從固定的臺(tái)式光譜儀到移動(dòng)化便捷設(shè)備的轉(zhuǎn)變。

　　x射線熒光光譜儀可廣泛應(yīng)用于下面這些領(lǐng)域中：

　　一：鋼鐵

　　生鐵、鑄鐵、不銹鋼、低合金鋼、爐渣、礦石、鐵合金、特種鋼、表面處理鋼板、電鍍液

　　二：有色金屬

　　銅合金、鋁合金、鉛合金、鋅合金、鎂合金、貴金屬

　　三：建筑材料

　　水泥、水泥原料、熟料、石灰石、粘土、玻璃、磚

　　四：電子/磁性材料

　　半導(dǎo)體、光磁盤、磁鐵、電池、線路板、電容

　　五：化學(xué)工業(yè)

　　無機(jī)/有機(jī)產(chǎn)品、化學(xué)纖維、催化劑、涂料、顏料、藥品、 化妝品、洗滌劑 石油/煤炭、石油、重油、潤滑油、樹脂、煤炭、焦炭

　　六：農(nóng)業(yè)、食品原料

　　土壤、肥料、植物、食品